3納米高純氣體面密封墊片|納米級顆粒防護，守護高純氣體系統安全運行

在半導體、集成電路、光伏、電子特氣、生物制藥等行業中，高純氣體系統對潔凈度的要求越來越高。許多企業在實際運行過程中都會遇到類似問題：氣路中的微小顆粒進入質量流量控制器(MFC)、精密閥門或壓力調節器后，容易造成閥芯磨損、密封失效、流量偏差甚至設備停機，嚴重影響產品良率和生產穩定性。

恒歌3納米高純氣體面密封墊片專為超高純氣體輸送系統設計，在傳統VCR面密封墊片結構基礎上集成高精度燒結金屬過濾層，實現密封與過濾雙重功能。產品采用高純度316L不銹鋼材料制造，可在高溫、高壓、腐蝕性氣體等復雜工況下長期穩定運行，為關鍵氣體系統提供可靠的顆粒攔截保護。

相比傳統過濾器需要額外安裝空間和復雜管路改造，恒歌面密封過濾墊片可直接替換標準VCR墊片，無需增加管路長度和安裝工序，在有限空間內即可實現納米級顆粒過濾，有效降低系統污染風險。

產品參數

產品名稱：3納米高純氣體面密封墊片

產品類型：墊片式高純氣體過濾器(MF系列)

過濾精度：3nm～60μm(支持定制)

材質：316L不銹鋼

密封方式：面密封

表面粗糙度：≤0.2μm

耐溫范圍：最高可達400℃

接口規格：1/8″、1/4″、3/8″、1/2″、3/4″、1″

適用介質：高純氣體、特種氣體、惰性氣體、工藝氣體

定制服務：

● ?過濾精度定制

● ?尺寸規格定制

● ?MFC專用過濾墊片定制

● ?精密閥門專用過濾墊片定制

產品特點

1、納米級過濾能力，攔截超微顆粒污染

恒歌采用自主燒結過濾技術，可實現3納米至60微米范圍內的精密過濾。對于高純氣體系統中的金屬顆粒、管路雜質以及工藝污染物具有良好的攔截效果，從源頭降低顆粒進入關鍵設備的風險。

2、密封與過濾一體化設計

傳統氣體過濾器往往需要額外安裝空間，而面密封過濾墊片將過濾功能直接集成到墊片結構中，在保持原有密封性能的同時實現高效過濾，特別適用于空間受限的半導體氣路系統。

3、高純316L不銹鋼材料

產品整體采用316L不銹鋼制造，具有優異的耐腐蝕性能和機械強度，可適應多種腐蝕性氣體及復雜工藝環境，減少長期使用過程中材料老化帶來的風險。

4、耐高溫、耐高壓性能優異

最高可耐受400℃工作環境，在高溫工藝氣體輸送過程中依然保持穩定過濾性能。針對不同工況需求，可提供高壓型和低壓型結構設計。

5、表面光潔度高，減少顆粒脫落

密封接觸面經過精密加工處理，表面粗糙度可達≤0.2μm，有助于提高密封可靠性，減少安裝過程中產生的顆粒污染。

6、安裝便捷，降低改造成本

產品兼容標準面密封接口規格，可直接替換現有VCR墊片，無需焊接、切割或改造氣路系統，大幅縮短設備維護和升級時間。

產品應用

1、半導體制造設備

在半導體生產過程中，氣體潔凈度直接影響晶圓良率。恒歌3納米高純氣體面密封墊片廣泛應用于氣體分配系統、特氣輸送系統以及工藝設備前端，可有效保護MFC、減壓閥、電磁閥等關鍵部件。

特別是在CVD、PVD、刻蝕、離子注入等工藝環節，可有效減少顆粒污染造成的缺陷風險。

2、生物制藥與醫藥制造

用于高純氣體輸送、無菌氣體供應以及藥品生產過程中的氣體過濾，確保進入生產系統的氣體潔凈度符合工藝要求，降低產品污染風險，提高生產一致性。

3、光伏與電子材料行業

在電子級硅材料、光伏電池片以及電子特種材料生產過程中，對工藝氣體純度要求極高。過濾墊片能夠持續攔截微粒污染物，保障產品品質穩定。

4、航空航天與高端裝備制造

應用于高可靠性氣體控制系統、先進材料制造以及精密工藝設備中，即使在高溫、高壓等苛刻環境下也能保持穩定過濾性能。

為什么選擇恒歌

作為專注于燒結金屬過濾技術研發與制造的生產廠家，恒歌長期服務于半導體、電子特氣、生物制藥、新能源等行業客戶，積累了豐富的高純氣體過濾應用經驗。

恒歌不僅提供標準化面密封過濾墊片產品，還能夠根據客戶設備結構、氣體種類、壓力參數和過濾要求進行定制開發，幫助客戶獲得更匹配的過濾解決方案。

選擇恒歌，您獲得的不僅是一片過濾墊片，更是一套針對高純氣體系統顆粒污染控制的專業解決方案。

無論是保護昂貴的質量流量控制器，延長精密閥門使用壽命，還是提升半導體工藝良率，恒歌3納米高純氣體面密封墊片都能夠為您的高純氣體系統提供長期、穩定、可靠的顆粒防護保障。